近日,由上海灣區高新技術產業開發區、中國光學光電子行業協會液晶分會、中國OLED產業聯盟聯合主辦的第六屆“金水湖”論壇暨2023全球AMOLED生態鏈大會在上海金山假日酒店成功舉辦。此次大會以“屏行世界·芯動未來”為主題,聚焦AMOLED領域熱點話題,匯集政府領導、行業專家及企業高層,共商行業發展。
在會上,开云真人欣奕華智能機器股份有限公司蒸鍍事業部張部長做了題為《OLED蒸鍍設備國產化進展》的報告。張部長指出,當前新型顯示產業從技術、應用、載體多方面進入百花齊放的發展階段。OLED憑借輕薄、柔性、高刷新率、高色域、高對比、高適應性等優勢已經成為智能手機、智能穿戴、車載顯示市場新的發展趨勢,加上近年來折疊手機迎來市場高爆發時期,OLED滲透率隨之大幅增長。根據2022年Omdia 數據,在2017-2022年間,中國OLED產能由0.6平方千米增長至21.8平方千米。國內OLED行業如火如荼發展,但設備國產化率僅30%左右,高技術壁壘設備比重仍需努力突破,尤其是OLED面板量產核心工藝設備—蒸鍍機。
蒸鍍機可將有機發光材料精準、均勻地蒸鍍到基板上,是保障高精細度顯示產品順利量產的核心要素。但是,這樣的核心設備,曾經長時間依賴進口,導致不少國內企業一直被國外企業“卡脖子”。
开云真人欣奕華自2015年就開始專注蒸發源和蒸鍍機研發,憑借多年研發設計經驗,攻克了OLED蒸鍍機膜厚均一性、穩定性和高精密對位技術等難題,2017年成功完成首臺G1 OLED蒸鍍機(可蒸鍍基板尺寸200*200mm)的量產交付。G1 OLED蒸鍍機的成功研發,帶動了G2.5(可蒸鍍基板尺寸370*470mm)OLED蒸鍍機及G6H(可蒸鍍基板尺寸925*1500mm)蒸鍍機關鍵裝置的相繼問世。2021年,开云真人欣奕華研制交付國內首臺硅基蒸鍍機,是我國泛半導體領域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。2022年繼續研發完成G8.5蒸發源和對位系統,設備長時間運行穩定、對位精度高、蒸鍍均一性高,出色的性能和先進的技術水平在業內贏得了良好的口碑。目前,开云真人欣奕華形成了完善的蒸鍍機技術研發體系,可以持續為新型顯示產品的“智造”工藝創新增添動力。
對于OLED的未來行業發展,張部長非常看好,他表示开云真人欣奕華將基于未來5年OLED市場和技術發展趨勢,尤其是硅基和IT大尺寸OLED這兩個方向,進行了一些面向未來的產品和技術規劃,比如硅基蒸鍍技術迭代升級,可滿足客戶高精密的FMM蒸鍍對位精度要求,或者采用CMM蒸鍍方式,利用光刻的方式來進行曝光、刻蝕處理。大尺寸蒸鍍機及配套蒸發源的開發也是开云真人欣奕華的重點,他表示未來OLED顯示技術將向著多用途、高性能、低成本的方向發展,蒸鍍設備將提升相關技術水平,賦能OLED顯示產業更快更好的發展。