設備緩存存儲柜NTB
應用場景:作為生產節拍高的設備前端的緩存空間,它將等待加工和搬送的晶圓物料臨時儲存起來,自動快速的完成天車及Load Port的物料取放對接任務,大幅提高工業設備的使用效率

產品特點



– 高潔凈度、高精度、高可靠性

– 抽屜式可拉出Manual Port

– 針對2-4 Port, 提供客戶定制系統

– 根據需要可配置6-12個Buffer

– 符合SEMI標準,可與Fab系統數據交互,以及基于E84通訊協議對接天車系統

核心技術



– 高精度、高可靠性、高潔凈度

– 振動抑制技術

規格參數



機臺緩存存儲柜 規格參數
 載重  Max 15Kg
 行走速度  Max 600mm/s
 升降速度  Max 1000mm/s
 Cycle time ( shelf→LP)  20s
 重復精度(X Z軸) ±0.5mm
 潔凈度  Class100
 振動  ≤0.5G
 供電規格  AC200-230V±10%
50/60Hz±1% 2.0 [kVA]

規格參數



機臺緩存存儲柜 規格參數
 載重  Max 15Kg
 行走速度  Max 600mm/s
 升降速度  Max 1000mm/s
 Cycle time ( shelf→LP)  20s
重復精度(X Z軸)
±0.5mm
 潔凈度  Class100
 振動  ≤0.5G
 供電規格  AC200-230V±10%
50/60Hz±1% 2.0 [kVA]

留言板
留言板
kaiyun OB电竞 kaiyun官方网 kaiyun 赛博体育官网 kaiyun 凯时AG kaiyun官方网 kaiyun官方网 kaiyun