Inline 蒸鍍設備

應用場景:應用于汽車尾燈、照明等PMOLED面板、WOLED面板


產品特點



– 各種基板尺寸

– Inline Type

– 標準化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 運營穩定

核心技術



– 定制化產品,可配置點源或線源

– 具備Auto PID,蒸鍍穩定,成膜均勻

– 產品成熟,運行穩定(MTFR≥720小時)

規格參數



Inline 蒸鍍設備

規格參數

基板

 Up to G8.5

 生產節拍

 60秒 (區分鍍層)

 生產時間

 ≥144小時

 膜厚均勻性

 有機材料:≤2% (片內);≤2%(片間)

 金屬材料:≤3% (片內);≤2%(片間)

 速率穩定性

 0.01?/s- 3?/s

 有機材料:Host:≤±2%,@1.0?/s

 Dopant: ≤±3%,@0.01?/s

 金屬材料:≤±2%,@1.0?/s;≤±3%,@0.01?/s

 對位

 ≤±50μm(機械對位)

 系統控制

 控制系統PLC,PC (GUI S/W)


規格參數



Inline 蒸鍍設備

規格參數

基板

 Up to G8.5

 生產節拍

 60秒 (區分鍍層)

 生產時間

 ≥144小時

 膜厚均勻性

 有機材料:≤2% (片內);≤2%(片間)

 金屬材料:≤3% (片內);≤2%(片間)

 速率穩定性

 0.01?/s- 3?/s

 有機材料:Host:≤±2%,@1.0?/s

 Dopant: ≤±3%,@0.01?/s

 金屬材料:≤±2%,@1.0?/s;≤±3%,@0.01?/s

 對位

 ≤±50μm(機械對位)

 系統控制

 控制系統PLC,PC (GUI S/W)


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