高精密對位系統

應用場景:應用于蒸鍍機蒸鍍過程中的MASK高精密對位


產品特點



– 標準化

– 模塊化

– 穩定性高

– 對位時間短

– 高精密加工及組裝

核心技術



– 高精密溫度控制技術

規格參數



– 對位精度≤2 μm

規格參數



– 對位精度≤2 μm
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