Mini LED固晶外觀檢測設備

應用場景:在Mini LED直顯和背光源產品(玻璃/PCB)制程中,針對固晶后、爐后的產品外觀不良進行檢測


產品特點



– 根據CAD檔自動建模,自動優化檢測路徑

– 最小分辨率達到3μm

– 產品自動規正,歸正精度達到±0.5mm

– LED偏移檢測精度<5μm,角度檢測精度<0.1°

– 檢測統計數據實時反饋固晶機,修正可能的固晶缺陷

– 兼容LED位置白油和焊盤檢測

核心技術



– COF(Capture On Fly)技術,有效提升TT的同時減少了設備的震動

– 自由檢測路徑規劃技術

– 高精度檢查與量測算法

規格參數



MiniLED外觀光學檢測設備 規格參數
 系統解析度  <3μm
 光源  多角度多色彩光源
 產品平臺平整度  ≤50μm
 檢測效率  80000顆LED,CT<500S
 定位Mark點需求  產品四角各一個
 真空平臺  分區控制真空吸附
 歸正功能  精度≤±0.5mm
 定位檢測功能  可根據ET設備提供的坐標檢驗對應的零件
 定位檢測TT  需檢驗零件≤20顆,TT≤36S(包含上下料時間11S)
 潔凈度  設備內千級無塵環境
 GR&R  GR&R<10%(tolerance<±40um or ±2°)
 檢驗項目

 檢驗項目包含并不限于錯件/缺件/偏位/側立/極反/反白/破損等目視可分辨不良項目

 漏失率&誤報率  漏失率:0;誤報率<400ppm
 尺寸量測  具備芯片尺寸量測功能
 基板材質  可兼容玻璃基板,其他材質可定制兼容
 基板厚度  0.4~1.1mm
 基板尺寸  1500*865mm向下無極兼容到600*400mm
 芯片尺寸  滿足0509芯片
 芯片數量  可檢測數量>80000顆


規格參數



MiniLED外觀光學檢測設備 規格參數
 系統解析度  <3μm
 光源  多角度多色彩光源
 產品平臺平整度  ≤50μm
 檢測效率  80000顆LED,CT<500S
 定位Mark點需求  產品四角各一個
 真空平臺  分區控制真空吸附
 歸正功能  精度≤±0.5mm
 定位檢測功能  可根據ET設備提供的坐標檢驗對應的零件
 定位檢測TT  需檢驗零件≤20顆,TT≤36S(包含上下料時間11S)
 潔凈度  設備內千級無塵環境
 GR&R  GR&R<10%(tolerance<±40um or ±2°)
 檢驗項目

 檢驗項目包含并不限于錯件/缺件/偏位/側立/極反/反白/破損等目視可分辨不良項目

 漏失率&誤報率  漏失率:0;誤報率<400ppm
 尺寸量測  具備芯片尺寸量測功能
 基板材質  可兼容玻璃基板,其他材質可定制兼容
 基板厚度  0.4~1.1mm
 基板尺寸  1500*865mm向下無極兼容到600*400mm
 芯片尺寸  滿足0509芯片
 芯片數量  可檢測數量>80000顆


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