硅片視覺檢查AVIS

應用場景 : 應用于半導體芯片生產、硅片制造行業工藝制程機臺的自動晶圓檢測系統


產品特點



– 功能可選模塊化設計

– 緊湊型封口

– 高潔凈度、高可靠性、高精度

– 提供系統定制

– 傳輸振動抑制控制

– 視覺檢測運動控制

核心技術



– 通信接口適配技術

– Dual-Arm控制技術

– 晶圓Mapping技術

– 晶圓360°旋轉控制

– 晶圓表面光源檢測

– 簡易化運維管理平臺

規格參數



硅片視覺檢查AVIS

規格參數

 晶圓尺寸
 300mm

 尺寸(mm)

 3436(W)*1850(D)*2180(H)

 節拍時間

 Min. 90 WPH ( Wafer inspection time : 15 sec. / per side)

 系統結構

 Transfer Robot , Inspection Robot , Flip Unit , LPM , Open Cassette , FFU , Halogen

 Lamp , lonizer , etc

 搬運機器人&檢測機器人重復定位精度

 Within ± 0.1mm

 搬運機器人活動范圍

 伸展:1215mm, Rotation: 330 deg, Up/Down: 480mm

 檢測機器人活動范圍

 X , Y , Z Axis : 300mm , Yaw Axis : -90~90 deg , Tilt : -50~80deg,Wafer rotation :

 360 deg(CW , CCW)

 碘鉤燈

 YP-250I/YAMADA KOKAKU

 潔凈等級

 Class 1 , ULPA Filter


規格參數



硅片視覺檢查AVIS

規格參數

 晶圓尺寸
 300mm

 尺寸(mm)

 3436(W)*1850(D)*2180(H)

 節拍時間

 Min. 90 WPH ( Wafer inspection time : 15 sec. / per side)

 系統結構

 Transfer Robot , Inspection Robot , Flip Unit , LPM , Open Cassette , FFU , Halogen

 Lamp , lonizer , etc

 搬運機器人&檢測機器人重復定位精度

 Within ± 0.1mm

 搬運機器人活動范圍

 伸展:1215mm, Rotation: 330 deg, Up/Down: 480mm

 檢測機器人活動范圍

 X , Y , Z Axis : 300mm , Yaw Axis : -90~90 deg , Tilt : -50~80deg,Wafer rotation :

 360 deg(CW , CCW)

 碘鉤燈

 YP-250I/YAMADA KOKAKU

 潔凈等級

 Class 1 , ULPA Filter


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